X荧光光谱仪的主要部件光源、激发单色器、样品池、荧光单色器及探测器等。探测器是很重要的零件，它是用于接受和分辨信号。我们在选用探测器时，因为探测器性不同，所以需要综合考虑多种因素。

目前X荧光光谱仪常用的X射线探测器有三种：流气式正比计数器、NaI闪烁计数器、Si(Li)探测器。就三者而言，产生一个离子对的平均能量，他们之间大约相差一个量级，而分辨率与统一个光子产生的电子数的平方根成正比，所以他们的分辨率也粗略相差三倍。

下面一起来和小编比较下三种X射线探测器吧！

1、流气式正比计数器适用波长范围0.15～5.0/nm，平均能量/离子对26.4eV，电子数305/光子，分辨率1.2/keV。

2、NaI闪烁计数器适用波长范围0.02~0.2/nm，平均能量/离子对350eV，电子数23/光子，分辨率3.0/keV。

3、Si(Li)探测器适用波长范围0.05～0.8/nm，平均能量/离子对3.6cV，电子数2116/光子，分辨率0.16/keV。

尽管X荧光光谱仪由于使用分光晶体而达到约12eV的分辨率，但新的能量探测器已经可达到4eV，在分辨率方面已取得优势。

事实上如果新型能量探测器在计数率和制造工艺的稳定性方面能取得突破，则X荧光光谱仪有可能在未来逐步取代复杂的波长色散X荧光光谱设备，成为X荧光光谱分析领域的主流。

X荧光光谱仪的构造