一、台式X荧光光谱仪的工作原理

台式X荧光光谱仪工作原理和手持式X荧光光谱仪工作原理有异曲同工之妙，但又有所不同，二者都是 当X射线管发出的一次X射线照射到样品上，使样品发射出元素的特征X射线，通过探测器来采集X射线的信号，从而对样品进行定性及定量分析。

以EDX-6000台式X荧光光谱仪器组成为例，简单介绍能量色散型X荧光光谱仪的主要构成，包括高压单元、X光管、准直器、样品盘、探测器、数据处理系统等，如下结构示意图。

能量色散型X荧光光谱仪工作原理图

X射线与物质的相互作用，存在有十几种过程。其中几率较大的主要作用过程为光电效应、康普顿散射效应、电子对效应、瑞利散射效应。对于低能射线，这个过程中无电子对效应产生。

当样品中的元素受光子照射，如光子能量大于原子中的内层电子束缚能，则电子被击出，产生空穴，这时的原子变成激发态。外层电子从高能轨道跃迁到低能轨道来填充轨道空穴，就会以X射线的形式释放出能量，原子恢复到稳态。

每种元素都有相应的特征X射线，不同元素的特征X射线的能量不同。测定样品不同特征X射线的能量可以准确判别出样品所含的不同元素种类；测定样品中元素特征X射线强度反映了相对应元素的含量。

特征荧光X射线的产生

一、台式X荧光光谱仪的工作特点

（1）无损检测。在无标准样品时亦可准确分析。

（2）测量时间比化学方法短，不需要辅助材料。

（3）计算机进行数据处理，分析快速准确。

（4）高分辨率图形即时显示，由不同色块加以判断区分。

（5）打印机可连续打印测量报表。

（6）对电气电子设备元器件中的铅Pb、汞Hg、镉Cd、铬Cr、溴Br等元素进行定量分析。